武宗还数度发军，到五台山修建寺院。仁宗敕“置五台寺济民局”，“敕五台灵鹫寺置铁冶提兴司”。英宗“禁五台山樵采”，“驾幸五台山”，敕重修寺院。
泰定帝“敕建殊像寺于五台山，赐田三百顷”，大作佛事3次。元代在五台山重修和新建的寺院有万圣佑国寺等十数座，规定每寺住僧300人。元代除喇嘛教兴起之外，其他宗派如华严、慈恩、禅宗也颇兴盛，并涌现出了不少高僧。
元英宗和元文宗元英宗和元文宗也十分尊崇佛教，曾在五台山大兴佛事。至治三年（1323）夏四月，“敕京师万安、庆寿、圣安、普庆四寺，扬子江金山寺、五台山万圣佑过死，做水陆佛事七昼夜”。
元文宗即位后，十一月就“做佛事于五台寺”，祈福安民，巩固自己的统治。后又于至顺元年（1330）五月己卯，“谴使诣五台山做佛事”。
次年（1331）四月丙午，又命“西僧于五台山及雾灵山作佛事各一个月，为皇子古纳答刺祈福，以粮五万石赈粜京师贫民。”
皇室佛事活动在五台山的频繁进行，不仅抬高了五台山藏传佛教的地位，而且也促进了藏传佛教在五台山的发展。
元代九帝一主，就有七帝尊崇佛教，倾仰五台山，于此建寺、赐田开矿、大作佛事、布施金币。据大略统计，自世祖中统二年（1261）到至正七年（1347），总共赐田三千二百八十六万一千亩。
元代新建、重建寺院还有大圆照寺、铁瓦寺、寿宁寺、西寿宁寺、护国寺、金灯寺、望海寺、温泉寺、石塔寺、清源寺等。其中有不少后来成为藏传佛教寺院。
元朝帝室在五台山的这些活动直接地促进了藏传佛教在五台山的传播。这样内外因素的结合，使得藏传佛教正式传入五台山。
